一·真空晶體生長(zhǎng)爐 設(shè)備用途
主要用于LED行業(yè)的寶石類(lèi)晶體制備,氟化物類(lèi)晶體生長(zhǎng),燒結(jié),退火等處理
二·真空晶體生長(zhǎng)爐 產(chǎn)品特點(diǎn)
1·模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,外形美觀,
2·采用底部電動(dòng)升降和鐘罩式爐體升降,結(jié)構(gòu)精巧,方便,移動(dòng)平穩(wěn)裝卸料方便
3· 采用觸摸屏+plc控制方式,自動(dòng)化程度高,操作直觀,功能強(qiáng)大。
4· 在觸摸屏內(nèi)可預(yù)存幾十種燒結(jié)工藝,一次編輯,以后直接調(diào)用使用,省去多次編輯工藝的麻煩,避免輸入錯(cuò)誤,燒壞產(chǎn)品。
5· 燒結(jié)的溫度,真空度,等數(shù)據(jù)可實(shí)時(shí)記錄,也可隨時(shí)啟動(dòng)停止記錄,減少無(wú)用數(shù)據(jù),數(shù)據(jù)可查詢(xún),可導(dǎo)出下載。
6· 燒結(jié)溫度高,用石墨發(fā)熱體,發(fā)熱均勻。
三·設(shè)備參數(shù)
1· 設(shè)備總功率:≤110Kw;電源電壓:3相380V,50Hz
2·加熱功率:80kw 三相380V(暫定)
2·最高溫度:1500℃
3·額定溫度:0~1400℃
4. 工作區(qū)尺寸:Ф500×300mm(直徑×高,)
5·爐體內(nèi)徑Ф1000*1200mm(暫定)
6.測(cè)溫系統(tǒng): 鎢萊熱電偶
7.控溫精度: ±1℃
8.加熱區(qū): Ф540×600mm
9.下降速度: 慢速升降0.1-10mm/h(伺服控制)
快速升降50-200mm/min(帶手動(dòng)升降)
10.中心軸有效行程/載重: ≤450mm/200kg
11.爐內(nèi)充氣壓力: ≤0.03MPa